(投资超4亿！深圳首个！深技大半导体微纳加工中心与测试平台落成，时长共1分46秒)

投资超4亿，深圳首个！深技大半导体微纳加工中心与测试平台落成

12月25日，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。作为深圳市首个聚焦化合物半导体光电子领域的公共服务平台，该平台的投用填补了深圳市在“光载信息”和“智能传感”半导体芯片领域的空白，将为粤港澳大湾区半导体产业高质量发展提供关键支撑，筑牢深技大应用研究型人才培养根基。

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式启用。

深圳市科技创新局党组书记、局长张林，深圳市委教育工委副书记王汝津，深圳市工业和信息化局副局长平原，坪山区委书记赵嘉、区长张茜等领导；中国工程院外籍院士、美国工程院院士、博升光电科技有限公司董事长常瑞华，清华大学深圳国际研究生院副院长刘碧录，以及深圳市重大产业投资集团有限公司、比亚迪汽车工程研究院等企业代表和业界嘉宾受邀出席。深圳技术大学党委书记陈秋明，校领导梁永生、邓元龙，集成电路与光电芯片学院院长宁存政等出席活动。

全链条平台落地

填补深圳市化合物半导体光电领域空白

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台是国内高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。中心建筑面积2600平方米，其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米。

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。 

作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，中心配置120余台套先进教学与研发工艺设备，构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系，可提供“设计—加工—封装—测试”一站式技术解决方案。

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。 

人才培养方面，中心依托深技大集成电路与光电芯片学院，组建了由50多名高层次科研人员构成的核心团队，已构建起从基础研究到工艺实现、从中试到产业化的完整创新链条。作为学院本硕博学生的核心实践载体，将深度融合科研与教学，助力构建实践型人才培养体系，为产业输送高素质专业人才，实现教学、科研、产业三大目标的精准对接。

政校企研嘉宾齐聚

共启平台赋能产业新征程

深圳技术大学党委书记陈秋明在致辞中表示，深技大以服务国家战略和产业发展为己任，正稳步迈向加快建设高水平应用研究型大学之路。半导体微纳加工中心与测试平台依托集成电路与光电芯片学院资源，致力于成为集工艺教学、前沿研发、中试验证和产业服务于一体的微纳加工技术研发创新高地和人才培养基地，将以专业化、高水平的半导体加工与测试服务为核心抓手，加快破解半导体光电产业领域关键核心技术，加速推动半导体与集成电路领域研究成果的工程化突破、产业化应用、市场化推广，为深圳市半导体产业和坪山区“中国芯”支柱产业高质量发展提供坚实支撑。

陈秋明。

清华大学深圳国际研究生院副院长刘碧录表示，中心的建成将为粤港澳大湾区科技创新与产业升级注入强劲动能。期望未来两校在人才联合培养、前沿科技探索、关键技术攻关、成果转化与产品研发等领域开展全方位、深层次合作。

刘碧录。 

中国工程院外籍院士、美国工程院院士、博升光电科技有限公司董事长常瑞华指出，半导体微纳加工中心与测试平台的落地，有效推动深技大接触世界最精密前沿的设备，其发展完全契合学校“创新为本、需求驱动、开放融合、智能引领”的办学理念，既能为科技人才储备夯实基础，更能培育新技术与产业，为新兴光电产业开辟无可估量的未来发展空间。

常瑞华。 

坪山区区长张茜表示，平台的落成，有助于深化产学研融合、完善坪山区半导体产业生态。坪山区与深技大已建立密切合作关系，接下来将积极搭建合作桥梁，推动平台与区内龙头企业深度对接，精准匹配加工测试需求，实现“产学研用”无缝衔接。同时，坪山区将大力支持平台面向粤港澳大湾区半导体企业、高校院所开放共享资源，提供专业化、高效化的公共技术服务，助力更多创新成果在坪山落地转化。

张茜。

深圳市科创局局长张林表示，深圳技术大学主动对接产业需求建设半导体微纳加工中心，将有效集聚高校科研力量、企业产业资源和市场创新要素，形成教育、科技、人才“三位一体”协同发展的典型平台。

张林。 

张林对平台发展提出三点希望，一是希望这里能成为未来半导体和新型技术的策源地，打造光电技术策源高地，推动东部半导体产业迈向世界前沿；二是希望以光为突破口，在信息领域催生新的创新策源点、充分发挥光技术的独到优势，汇聚更多顶尖人才深耕于此；三是祝愿深技大能依托该平台，打造创新半导体人才孵化器，建成新型技术人才培养基地，为产业发展输送源源不断的高素质人才。

多元合作集中签约

精准对接产业需求促转化

落成仪式上，深技大副校长邓元龙代表学校，分别与清华大学深圳国际研究生院、深圳平湖实验室、深圳国际量子研究院、南方科技大学深港微电子学院、深圳光峰科技股份有限公司、蓝河科技（绍兴）有限公司、腾璞显示技术（深圳）有限公司、深圳市中科米格实验室技术有限公司等科研院校及机构代表完成集中签约。签约内容涵盖框架协议、联合实验室共建、员工互聘、校外实习实训基地共建及项目合作协议等多个关键领域。

签约仪式。

据悉，此次集中签约是深技大深化产教融合、推进产学研协同创新的重要举措，实现高校科研资源与企业产业需求的精准对接，搭建了学校与顶尖科研院校及机构的合作桥梁。通过多元合作模式，将有效整合产业、科研、人才等核心创新要素，加速技术攻关与成果转化，为半导体产业高质量发展培育专业人才队伍，同时进一步提升学校学科建设水平与服务区域发展的能力，构建起校地企研多方联动、互利共赢的协同发展生态。

签约仪式。 

“这一中心的建成对企业来说是‘久旱逢甘霖’。”签约企业深圳光峰科技股份有限公司负责人李屹表示，微纳加工中心的正式启用将为众多深圳科创企业的技术创新和产品推进提供重要助力。

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。 

深技大半导体微纳加工中心与测试平台的落成不仅为深技大半导体与集成电路、半导体光电子等优势学科提供关键硬件支撑，强化学校科研实力与人才培养优势，更将通过公共服务平台定位，推动“光载信息”“集成电路”“智能传感”等重大产业集群的技术创新与成果转化。

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。 

中心负责人、集成电路与光电芯片学院院长宁存政表示，当前，深圳市在光载信息产业和智能传感器系列产业领域缺乏上游工艺芯片制造公共服务平台，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台的落成弥补了这一空白，其产业服务线精准对接深圳市“20+8”产业集群中的光载信息产业和智能传感器系列产业，能满足粤港澳大湾区在该领域的相关需求。未来，中心将进一步助力学校深化产教融合、推进新型研究型大学建设，为粤港澳大湾区建设产业科技策源地贡献深技大力量。

采写：南方+记者 孙颖   

通讯员 汤悦

摄影/摄像：朱洪波

剪辑：麦俊钰