“我们用来做光刻机的很多零部件，例如透镜、涂布材料、成像材料等，都是设计和采购自中国，其中机械部分就可以在佛山找到供应商。”11月10日，在主题为“向芯而行 光刻辉煌”的佛商大讲堂上，ABM光刻机公司（下称“ABM”）总经理Zaheed S.Karim博士说。

AI浪潮席卷全球、半导体产业发展热火朝天的当下，佛山邀请来自ABM的大咖走进佛商大讲堂，所上演的不仅是一次触摸科技前沿的智慧分享，更是一次谋划合作共赢的对接交流：活动上，佛山大学与ABM签订战略合作协议，多位企业家表示希望与ABM建立合作关系。

“通过ABM在佛山的落地，佛山已有的半导体产业布局将迎来新开局，尤其在光刻机整机制造领域有望形成新的产业体系，希望大家不断找到新机会。”佛山市委常委、统战部部长丁锡丰说。

本次活动由佛山市工商联（总商会）携手广东法迪奥厨卫科技有限公司（下称“法迪奥”）、广东南方日报经营有限公司佛山分公司共同举办，佛山农商银行特别支持。丁锡丰指出，半导体集成电路产业是佛山新兴产业的重要一环，佛山各级政府部门将持续加强政策支持和招商引资力度，推动这一产业在佛山集聚壮大。

光刻机龙头入局佛山

众所周知，半导体产业是战略性新兴产业中的“明星”，其中的光刻机更是产业链上的“明珠”——光刻机是用于制造半导体芯片的关键设备之一，可通过精确控制光的波长、强度和曝光时间，将纳米级别的电路图案“印”在芯片表面。

成立于2003年的ABM，是全球光刻机领域的“隐形冠军”之一。这家公司有多厉害？现场，Zaheed S.Karim娓娓道来。

“ABM掌握了超过2000项光刻机关键零部件的专有技术，包括光源系统、光路系统、工件台系统、测量与对准系统、掩模版与掩模台机构、环境控制系统等核心技术。”Zaheed S.Karim说。

ABM光刻机公司总经理Zaheed S.Karim博士。

凭借领先技术优势，ABM已向全球超300家客户累计交付近1000台（套）设备。

带着扩大产能等目标，不久前，ABM走进佛山，在佛山这片制造业沃土落户了年产百台套光刻机及先进封装核心设备的生产基地项目。

“光刻机整机涉及成千上万个零配件，其中很多都跟精密机械加工和电气控制有关，而佛山在相关领域底蕴深厚，所以我们希望借助佛山的产业生态基础，带领我们的供应商一起往前走。”ABM 董事长吴玷表示。

来自ABM的领先技术和这家企业对佛山的布局，让参与大讲堂的佛山企业家们备受触动。现场，广东瑞洲科技有限公司副总经理郭瑞洲、法迪奥执行董事兼营销总经理沈铮文等企业家纷纷起身，就ABM在佛山的发展前景、佛山泛家居产业如何融入半导体产业等问题向Zaheed S.Karim提问，双方互动频频。

“了解到ABM的基本情况，更了解到它的发展规划后，我对佛山的半导体产业信心满满，期待不久之后我们能够用上‘佛山制造’的高端芯片。”郭瑞洲说。

广东瑞德智能科技股份有限公司研发中心总经理赵科也对ABM充满期待。“ABM在佛山的布局具有明确的针对性，我期待ABM能给下下游的我们带来更有性价比的产品。”赵科说。

佛山企业家逐浪“芯”潮

佛山正全力以赴加快发展半导体产业。活动上，丁锡丰透露，佛山已集结了106家半导体相关企业，年产值超150亿元，更多优秀企业还在源源不断被招引进来。

ABM加入佛山，可谓正当其时。丁锡丰表示，ABM的到来，不仅将为佛山填补光刻机整机制造领域的空白，还有望发挥龙头作用，与已有的企业相互赋能，推动佛山形成光刻机整机制造产业体系，为更多链上企业带来发展利好。

乘着ABM落户佛山的东风，本次佛商大讲堂也成为一场交流对接盛会，多家佛山半导体产业相关企业和机构纷纷伸出橄榄枝。现场，广东华特气体股份有限公司相关负责人“安利”了企业推出的电子特气产品，表示希望成为ABM验证的供应商，广东中科半导体微纳制造技术研究院相关负责人也介绍了该院重点打造的中试线，提出希望加强与ABM的合作。

现场观众向来自ABM的大咖提问。

不仅华特气体和广东微纳院，还有更多企业家希望携手ABM掘金半导体蓝海。

“作为老牌半导体企业，蓝箭电子正积极从传统封装向先进封装转型，今天了解到ABM可将光刻与先进封装相结合，我们会与ABM开展更多交流，争取实现合作。”佛山市蓝箭电子股份有限公司工程技术研发中心副主任颜志扬说。

“我们的产品有部分用于半导体产业，今天的活动让我深感佛山半导体产业的良好发展前景，未来我们会加大研发力度，不断拓展新的领域。”广东金泓新材料有限公司办公室主任陈小红说。

佛山围绕半导体产业的产学研合作也将迎来新动能。活动上，佛山大学与ABM签约，计划探索校企合作的新机制，在集成电路、高端装备、零部件、材料制程工艺等方面开展战略合作。

佛山大学与ABM签约。

刚刚落户就收到众多“橄榄枝”，ABM对未来更有信心。吴玷透露，ABM将在佛山打造研发、生产、制造中心，计划规模化量产成熟制程的光刻机产品，并向先进制程进军。“依托佛山基地，未来数年，我们仅成熟制程的光刻机产品的产能就有望提高10倍以上。”吴玷说。

采写：南方+记者 王谦

摄影：南方+记者 戴嘉信