日前，多家半导体业内媒体聚焦一个消息，深圳稳顶聚芯技术有限公司（以下简称“稳顶聚芯”）于近日宣布，其自主研发的首台国产高精度Stepper（步进式）光刻机已成功出厂，这一成果标志着国内在化合物半导体光刻装备领域又迈出了坚实一步。

稳顶聚芯光刻机出厂。

稳顶聚芯公开信息较少，并不为人熟知。从稳顶聚芯官方视频号披露的产品资料来看，此次出厂的步进式光刻机属于WS180i系列。该系列产品主要应用于mini/microLED、光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域，可满足硅片、蓝宝石、SiC等衬底的不同胶厚光刻工艺需求。比如WS180i-C：适用于1/2英寸基底尺寸，分辨率为1μm，曝光光源为i-line，适用于小尺寸基底的特定光刻场景。

根据官方视频所述，稳顶聚芯在国内行业有“四个唯一”，是唯一正向研发、唯一前道工艺、唯一套刻精度100nm左右、唯一前道工艺国产化及产业化的光刻机整机智造商。

除了步进式光刻机，稳顶聚芯的产品线丰富多样。公司还拥有套刻及关键尺寸光学量测设备、超精密光学成像质量评价系统、晶圆寻边器、晶圆机械手、主动减震系统、薄膜测量系统。这些产品共同构成了稳顶聚芯在半导体装备领域的强大产品矩阵。

光刻机产品信息。官方视频号截图

此前4月24日的2025九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会上，稳顶聚芯举行了光刻机产品发布会，介绍了公司Stepper光刻机系列，共五款产品，以及6款相关衍生模组产品共11款产品。

而在2025 MEMS与传感器产业创新领航大会的产业论坛环节，据介绍，稳顶聚芯自主研发的光刻机分辨率达到100nm，已实现小批量生产，将重点服务MEMS传感器制造。

工商信息显示，稳顶聚芯于2023年5月在深圳市南山区成立，注册资本119.21万元，经营范围广，涉制造、销售及技术服务等多领域。公司于2023年10月完成了普禾资本的A轮融资，2024年9月完成凯鼎投资A+轮融资。

据投资机构普禾资本微信公众号介绍，稳顶聚芯成立于深圳，立足于成熟工艺制程中的半导体芯片制造装备的设计与制造，计划逐步开发出从中端到高端的系列产品，优先服务于汽车和新能源的功率半导体芯片制造领域，后续考虑服务IC芯片制造领域。前期已完成第一代半导体芯片制造装备MaskAligner（分辨率1-3µm）的开发及批量化生产，实现了光学系统的设计与装调、工件台的设计与控制、操作系统的开发与应用以及准分子光源中的高压直流电源（HVPS）和全固态高压高功率电源（ASSP）的技术突破，形成了较完善的技术储备。

公司核心团队来自行业领军企业，长期从事激光物理、光学、运动控制、电气工程、机械工程、材料科学等方面的研发工作，具备了深厚的理论功底和创新性产品开发思维和市场开拓能力。

稳顶聚芯2023年入选“深圳市2023年第十批国家级科技型中小企业认定”公示名单。

工商信息

公司完成了半导体芯片制造装备系统中核心光学部件的光学设计；突破了半导体芯片制造装备之魂——操作系统的国产化，完全不用再担心国外卡脖子；完成了半导体芯片制造装备中晶圆传输系统的技术路线的调研与设计；完成了半导体芯片制造装备中量测系统的设计。

另据企业2024年10月校招信息显示，公司在深圳拥有2000多平方米的研发及生产厂房，包括干级装配调测洁净间、百级和十级实验室洁净间。公司核心团队研发的集成电路工艺设备已通过知名集成电路制造商认证，获得了客户的高度好评。

此外，2024年12月5日的“科创宝安·创投荟”第二十五期上，深圳稳顶聚芯技术有限公司发布了公司国产光刻机整机研发成果。公司产品聚焦于成熟工艺制程的半导体前道光刻工艺制造，拥有2000多平方米的研发及生产厂房和一支高素质的研发团队。发布融资需求1亿元。

南方+记者 李荣华