2月10日，珠海至微半导体零部件清洗项目动工仪式在珠海高新区智能制造加速基地举行。据悉，该项目建成后可为珠三角半导体晶圆厂提供“2小时配套圈”服务，为华南地区半导体产业集群发展带来新的活力与机遇。

珠海至微半导体科技有限公司是A股上市公司上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”）的子公司，至纯科技主要从事半导体制程和厂务设备研发、生产以及半导体零部件清洗服务，年营收约人民币40亿元。至纯科技作为国内集成电路的领军企业，多项技术已达到国际先进水平。

2024年9月23日，至纯科技半导体清洗项目签约落户珠海高新区，该项目由珠海高新区和横琴粤澳深度合作区联动协作引进，在珠海高新区建设规模化的半导体清洗工厂，带动全部产品线拓展华南市场。

该项目厂房总面积4200平方米，配置10级无尘车间，含4条独立制程清洗产线和表面处理产线，年清洗产能36万件，主要为半导体晶圆厂提供关键制程设备的零部件精密清洗和翻修服务，为设备零部件延长使用寿命，降低工厂运营成本。项目建成后可为珠三角半导体晶圆厂提供“2小时配套圈”服务，将为珠海市集成电路与半导体产业集群发展，完善半导体与集成电路产业链条注入新活力。

珠海高新区党工委书记赵适剑在致辞中表示，作为珠海的优势特色产业之一，珠海在集成电路设计领域基础深厚，且在制造与封测方面作出了一系列积极探索与尝试。珠海至微半导体的落户动工，完善了珠海集成电路的产业链与产业生态，祝愿珠海至微半导体项目在珠海高新区未来发展越来越好，为广东打造中国集成电路产业的“第三极”提供有力支撑。

“珠海高新区地处大湾区黄金内湾核心区域，半导体产业发展氛围浓厚，营商环境优越，政务服务高效。”广东省集成电路行业协会会长陈卫表示，珠海至微半导体零部件清洗项目的落地动工，将进一步助力珠海高新区半导体与集成电路产业腾飞。

珠海至微半导体科技有限公司总经理马希松在发言中表示，珠海高新区地理位置优越、交通便利、知名高校汇聚、企业服务贴心。“项目的顺利落地动工，离不开珠海高新区各部门的大力支持，接下来，珠海至微将扎根珠海高新区，努力做大做强，助力区域经济高质量发展。”马希松说。

作为珠海集成电路产业发展的主阵地，2024年，珠海高新区半导体与集成电路产业经济规模实现106亿元，同比增长22%。现有企业总数97家，占全市总数近70%。

采写：南方+记者 吴枫

摄影：南方+记者 钱文攀